資格預審公告
公告編號：DZXYGG202309270001
一、采購項目基本情況
采購項目 采購項目編號：DZCGXY202309270001 采購內容和范圍：8A 2套 Producer機臺L/L改造干泵購買 是否采用費率尋源：否二、申請人資格要求 資格: 1.資格要求：廠商具有4年以上8寸及以上量產半導體晶圓工廠銷售業績。 三、資格預審文件的獲取 資格預審文件在發布，不再另行線下提供紙質文件，凡有意參與者可在本公告期間自行 四、資格預審申請文件的提交 資格預審申請文件提交截止時間：_ 2023-10-03 08:00:00 __（北京時間，若有變化另行通知）。 資格預審申請文件格式和內容：申請人應根據上述資格要求逐項提供證明資料（掃描件），并對提供的證明資料完整性和真實性負責。 資格預審申請文件提交方式：在資格預審申請文件提交截止時間前，通過提交電子資格預審申請文件，逾期提交將被拒收。若采購人要求線下提供紙質資格預審申請文件的，按相關要求提供。 資格預審審核結果將通過進行發布，請關注相關通知，資審通過的供應商請按通知要求進行后續操作。 五、采購人 六、其它事項 1. 2.本項目采購通過守正平臺線上進行，供應商需注冊，按需辦理CA電子鑰匙（用于需插CA鎖報價的項目），通過平臺進行響應文件的遞交或報價，具體操作步驟可查閱網站首頁幫助中心的操作手冊，也可以聯系守正客服。 3.答疑澄清、通知等文件一經在發布，視為已發放給相應供應商（發放時間即為發出時間），請隨時關注發布的相關信息，并及時查閱和處理。
2.業績要求：
A．自2020年至今，持續在8寸及以上量產半導體晶圓工廠內有銷售安裝實例的。（要求提供實際安裝清單及證明材料）
90 m3/h 8寸及以上量產半導體工廠CVD Producer機臺L/L腔近2年裝機數量不小于30臺。
3.技術要求：所供干泵產品技術滿足此項目工藝及設備端的技術要求，詳見RFQ。（如無法滿足RFQ需求，則不考慮購買此供應商的干泵）
A.對于廠商所提供的干泵型號需要得到工廠模組的認可，如出現的新供應商或干泵新型號，模組要求Demo的，必須Demo認證合格后方可批量購買。
B．廠商提供干泵型號要能與工廠智能化生產系統（CMS）進行連線通訊，做到可實時監控到干泵運行狀態。（功率，電流，溫度，N2 Flow，Water Flow，Exhaust Pressure，running time等數據參數）
4.信譽要求：廠商相關責任人不屬于在“信用中國”網站 或各級信用信息共享平臺中查明的失信被執行人。
5.供貨要求：所供干泵的交貨期應滿足CSMC的裝機要求——2024年2月20日前，安裝完成。